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嘉峪檢測網 2022-03-25 15:26
IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)是由BJT(雙極結型晶體三極管)和MOSFET(金屬氧化物絕緣柵型場效應管)組成的復合全控型-電壓驅動式-功率半導體器件,典型結構圖如圖1所示。IGBT既有MOSFET的開關速度高、輸入阻抗高、控制功率小、驅動電路簡單、開關損耗小的優點,又有BJT導通電壓低、通態電流大、損耗小的優點。
圖1 IGBT結構示意圖[1]
IGBT在電路應用中主要起控制和傳輸作用,作為一種新型電子器件在高電壓,大電流,高速等應用領域具有無法比擬的優勢,是國際上公認的電力電子技術第三次革命最具代表性的產品,廣泛應用于電機節能,軌道交通,智能電網,航空航天,家用電器,汽車電子,新能源發電,新能源汽車等領域。從圖2可以看到,近年來,國內對于IGBT器件的需求持續遞增。
圖22010-2018年中國IGBT需求量(數據來源:公開資料整理)
基于上述應用領域的廣泛性與特殊性,系統對于可靠性的要求必不可缺,因此,IGBT器件的可靠性問題更是重中之重。選用IGBT器件時,除了進行關鍵參數的測試驗證外,還需要通過可靠性試驗對器件進行驗證。目前國內系統論述IGBT的專著和教材比較少,相關國家標準和行業標準有待進一步的完善,機械和氣候試驗方法標準主要參考JEDEC,IEC,MIL等國外標準。針對IGBT的組成部位和關鍵材料開展對應的可靠性試驗測試計劃能夠對IGBT器件可靠性進行更為準確的評價。圖3,表1分別為IGBT器件界面示意圖與各部分材料的功能展示。
圖3 IGBT界面示意圖[2]
表1 IGBT器件各部分材料與功能
部件名稱 |
構成材料 |
功能 |
芯片 |
Si 或 SiC |
核心組成部件 |
基板 |
陶瓷/Al2O3/AlN |
絕緣 |
焊接層 |
Pb/Sn/Ag/Cu |
連接層 |
鍵合線 |
主要為Al |
流過電流 |
底板 |
Cu/AlSiC |
導熱 |
外殼 |
PET/PBT |
外部端子支撐 |
凝膠 |
Si |
保護芯片和綁定線 |
端子 |
Cu |
流過電流 |
控制板 |
PCB |
控制電路(僅IPM) |
螺釘 |
合金鋼 |
連接外殼與底板 |
常見的工業級IGBT可靠性試驗包含但不限于以下項目:
(1)HTRB(高溫反偏)試驗:HTRB試驗用于驗證穩定情況下IGBT的漏電指標可靠性。HTRB試驗主要考核焦點是IGBT芯片邊緣結構和鈍化層,以及與生產相關的離子污染物。在HTRB試驗過程中一般可以監測到漏電流隨時間的變化。
(2)HTGB(高溫柵極反偏)試驗:HTGB試驗用于驗證在電和熱負載下柵極漏電流的穩定性。HTGB試驗主要考核的焦點是IGBT的柵極氧化層的完整性及移動離子污染。建議在試驗中,持續監測柵極的漏電流和柵極開通電壓,若這兩項參數超出指定規格,則認為模塊將不能通過此項測試。
(3)H3TRB(高溫高濕反偏)試驗:H3TRB試驗用于測試濕度對功率器件長期特性的影響。H3TRB試驗的焦點是IGBT的鈍化層及芯片表面缺陷,包括整個器件結構中的薄弱環節。值得注意的是,在H3TRB試驗后立即測量漏電流有可能出現漏電超標的情況,其原因是大多數模塊設計不是完全密封,水汽也可以隨著時間到達鈍化層,導致試驗后漏電超差。因此,可以對器件烘烤2h~24h并恢復常溫24h后,再測試器件的漏電流,驗證水汽入侵的可能性。
(4)TST(溫度沖擊)試驗:TST試驗主要驗證IGBT在被動溫度變化的情況下對機械應力的抵抗能力。TST試驗考核焦點是IGBT模塊的封裝、基板與DCB間的連接。
(5)TC(溫度循環)試驗: TC試驗用于模擬外界溫度變化對IGBT的影響,驗證器件或模塊的整體結構和材料。尤其是IGBT功率模塊由不同的材料組成一個系統,當受熱和冷卻時,不同材料的熱膨脹系數差異大,兩種界面在受熱或冷卻過程中所受的機械應力就越大。TC試驗的焦點是IGBT芯片與DCB、DCB與基板之間的連接。
(6)PC(功率循環)試驗:功率循環有秒級功率循環(PCsec)和分鐘級功率循環(PCmin)兩種,測試時通過芯片自身工作電流進行主動加熱芯片至目標溫度,然后關斷電流,冷卻到指定溫度。秒級功率循環試驗主要考核近芯片端連接的可靠性;分鐘級功率循環試驗主要考核近芯片端和遠芯片端連接的可靠性。
(7)Vibration(振動)試驗:Vibration試驗用來驗證機械結構的牢固性和電氣連接的穩定性。模擬器件在應用過程中的振動負載,并驗證了器件在出現故障模式(如結構脫落和材料疲勞)時的抗振動能力。
綜上,每一項可靠性試驗項目都有其對應聚焦的失效部位,如表2所示。
表2 試驗項目對應失效部位清單
在掌握器件本身結構材料的基礎上,明確其失效機理及失效模式,才能開展有效的可靠性評估試驗,結合DPA分析等評價手段,能夠對IGBT進行更為完善的可靠評價,用以指導器件選型與電路設計,從而提升產品或系統的可靠性。
參考文獻:
[1]安德烈亞斯?福爾克, 麥克爾?郝康普, 福爾克,等. IGBT模塊:技術、驅動和應用[M]. 機械工業出版社, 2016.
[2]閆美存,張秋. IGBT模塊封裝可靠性及關鍵試驗分析[J]. 信息技術與標準化, 2020,No.430(10):27-32.
[3]于迪, 史典陽, 任艷,等. 工程用IGBT模塊可靠性預計模型探討[J]. 電子產品可靠性與環境試驗, 2015.
來源:賽寶可靠性