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嘉峪檢測網 2020-08-27 22:07
我們經常會遇到一個問題:“我的xxx可以被聚對二甲苯涂層嗎?” 可以用聚對二甲苯涂覆的基材表面數量很多。在下表中列出了使用聚對二甲苯保形涂料的許多工業應用。這些示例可以擴展。
表:使用聚對二甲苯保形涂層的設備示例。
印刷電路板 |
植入式裝置 |
光學鏡片 |
記憶體 |
閥門 |
電源 |
發光二極管 |
O型圈 |
背板 |
導管 |
管道 |
光電電池 |
支架 |
硅片 |
鉗子 |
磁鐵 |
鍵盤 |
試管 |
紙 |
塞子 |
探針 |
針頭 |
封條 |
光纖組件 |
感測器 |
心軸 |
起搏器 |
鐵氧體磁芯 |
模具 |
線軸 |
金屬塊 |
馬達組件 |
還有很多… |
基材表面/聚對二甲苯相互作用/基材表面準備,界面清潔度,表面能:通過Parylene CVD沉積,可以在幾乎所有類型的材料上獲得無應力和無缺陷的保形涂層。這種涂層的一些例子在圖中示出。
(a)在汽車工業中使用的傳感器可能容易受到高溫,碳氫化合物,濕氣的影響。這種環境會導致傳感器的鋁制接觸墊快速腐蝕。在這些墊上使用聚對二甲苯可以保護它們,并且很常用[1]。
(b)聚對二甲苯還可以用作MEMS器件的掩膜材料,因為它具有填充縫隙的能力,在底切下填充的圖像中,它可以作為間隔物以生產100 nm寬的納米線(插圖)。在該研究中,它與聚合物抗蝕劑,硅,碳化硅和鉑形成界面[2]。在圖(c和d)中,我們看到可以使用聚對二甲苯代替玻璃包裝,從而減小了包裝的尺寸和重量。此外,聚對二甲苯可以與其他薄層(如SiO2)結合在一起形成多層涂層如圖2所示。應用和可能性的多樣性使聚對二甲苯成為極具吸引力的保形涂料。
但是,在開始沉積過程之前,需要執行一些步驟。為了防止分層,針孔,裂縫,皺紋,水泡和其他類型的薄膜缺陷,不同類型的表面需要不同的表面處理。我們討論以下一些常見類型作為要點:
聚對二甲苯/材料系統示例:
PCB:聚對二甲苯最常見的應用領域是PCB,作為電子組件,焊點和電線的保護涂層。它形成了一層保護層,以防止機械沖擊和腐蝕性元素的擴散[11]。
硅晶圓:晶圓鍵合中間層[12],作為硅化學蝕刻的掩模[13],
陶瓷/玻璃:A-174硅烷溶液預處理可以改善Parylene-C薄膜在平板玻璃基板樣品上的附著力[14]。
金屬/合金:聚對二甲苯廣泛用于涂覆傳感器墊。(圖(a)顯示了一個塑料封裝的硅壓力傳感器[1])。聚對二甲苯本身與貴金屬(如金和鉑)的粘合性較差。為了促進它們的粘合,可以使用市售的粘合促進劑,據報道,在這種界面上粘合強度提高了100倍,并觀察到了相應的耐濕氣剝離性提高[15]。
聚對二甲苯–金屬–聚對二甲苯夾層結構可作為柔性電極,傳感器生產,通常作為生物相容性植入物生產[16] – [18]。
聚對二甲苯-聚對二甲苯的沉積是可能的,但需要進行后處理才能通過熱處理形成化學穩定的界面[16],[19]。
聚合物:光致抗蝕劑上的聚對二甲苯C可以通過改善抗蝕劑的粘附力來實現,聚對二甲苯可以引入改進的硅烷化預處理,包括熱處理以從抗蝕劑表面去除羥基。[2]
在油上:當油的蒸汽壓低(<5 Pa)時,可以在頂部沉積聚對二甲苯[3]。涂在油上的聚對二甲苯應力很小,可以忽略不計[4]。聚對二甲苯上油沉積法(CVD)已用于制備長期可植入的壓力傳感器[5],從油中提取光學透鏡[6] – [8]并通過在沉積后分離聚對二甲苯來制備隔離的聚對二甲苯膜[9],[10]。
來源:Internet